拋光樹脂是由氫型強酸性陽離子交換樹脂及氫氧型強堿性陰離子交換樹脂混合而成，一般用于超純水系統的末端，經過拋光樹脂精處理后的水質能達到18兆歐以上，并對TOC、SIO2有一定的抑制。

目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm。

預處理必須能夠去除原水中的絕大多數雜質以滿足反滲透進水要求，確保產水水質達標、產水量穩定、系統回收率長期維持不變、延長反滲透膜使用壽命等。

壓力表：主要設在泵前、泵后、濃水、產水側，顯示反滲透裝置的運行壓力，根據壓力數值判斷膜及濾芯是否堵塞。

水在加熱過程中，由于蒸發濃縮，水中的金屬陽離子同陰離子結合在一起，形成水垢附著在受熱面上，水中這些金屬離子的總濃度稱為水的硬度。

超純水廣泛應用于電子芯片、醫藥生物、精細化工等其他行業，理論電阻率最高為18.25 MΩ·cm。 在EDI裝置后，通常配備拋光混床作為最終的精處理裝置，設計流速一般為40-60m/h。

在集成電路生產中，超純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，其中包括硅片氧化的水汽源，部分設備的冷卻水，配制電鍍液等。

化工行業中的純水主要應用于電池溶劑用水、化學分析、化工材料、產品清洗、物質的分離、濃縮、提純等產線，純水電導率0.1uS/cm-15uS/cm即可滿足要求。

在純水設備中通過前置預處理裝置，對原水進行初步的過濾，達到反滲透主機的進水要求。